Common Chip Formats

Line

Name Single Slot
3 Slot
4 Slot
5 Slot
D 310 µm 310 µm  310 µm  310 µm
W1 700 µm  700 µm  300 µm 100 µm
L 2 mm   3 mm  3 mm  3 mm
W2 1138 µm 1138 µm 738 µm 538 µm
d1  2300  µm   1100  µm
d2  N/A  500  µm
Membrane Area 0.014 cm^2 0.063 cm^2 0.036 cm^2 0.015 cm^2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[image PNG] silicon wafetr etch